Hledej Zobraz: Univerzity Kategorie Rozšířené vyhledávání

12 659   projektů
0 nových

Výroba polovodičů

«»
Přípona
.pdf
Typ
prezentace
Stažené
2 x
Velikost
0,3 MB
Jazyk
český
ID projektu
6108
Poslední úprava
06.07.2015
Zobrazeno
1 552 x
Autor:
agata.kucova
Facebook icon Sdílej na Facebooku
Detaily projektu
Popis:
Výroba polovodičů


Výroba monokrystalů křemíku
Integrované obvody jsou vytvářeny na substrátech z monokrystalického křemíku. Základními požadavky na tento materiál, kromě řady dalších, jsou vysoká čistota a minimální počet krystalových poruch.
Monokrystalický křemík je užíván pro technologii VLSI (Very Large Scale Integration) namísto polykrystalického křemíku zejména proto, protože zde nejsou poruchy spojené s hranicemi zrn v polykrystalickém křemíku. Takovéto poruchy omezují dobu života minoritních nosičů, což je další z významných parametrů, které určují vlastnosti a kvalitu součástky.
Požadované vlastnosti monokrystalů křemíku pro potřeby VLSI technologie:
- Vysoký stupeň chemické čistoty.
- Minimální počet poruch krystalu.
- Vysoká homogenita krystalu.
Základní kroky pro výrobu monokrystalu s výše uvedenými vlastnostmi jsou:
- Zpracování základního materiálu do vysoké čistoty v polykrystalické formě s použitím vícestupňového čisticího procesu.
- Růst monokrystalu z této formy s použitím buď Czochralski-ho růstu, nebo zonální rafinace.

Klíčová slova:

polovodiče

monokrystály

pěstování

homogenita

výroba



Obsah:
  • Výroba monokrystalů křemíku
    Pěstování monokrystalů Czochralski-ho technikou (technikou CZ)
    Pěstování monokrystalů technikou plovoucí zóny (technikou FZ)
    Porovnání techniky CZ a FZ pro pěstování monokrystalů
    Zpracování monokrystalických křemíkových roubíků - výroba křemíkových desek
O souborech cookie na této stránce

Soubory cookie používáme pro funkční účely, pro shromažďování a analýzu informací o výkonu a používání stránky.

Nastavení Povolit vše